1.下取物臂將待切割材料從晶片盒中取出,將待切割材料放置到預校準臺進行預校準,再送到工作盤上,進行劃片作業。
2. 上取物臂從工作盤將切割完成的材料移動到清洗盤上,進行二流體清洗和晶片干燥。
3 .下取物臂將切割完成的材料放回預校準臺進行預校準,再推回晶片盒中。
使用條件:
1. 請將機器設在20~25℃的環境中(波動范圍控制在±1℃以內);室內濕度40%~60%,保持恒定,無凝結。
2. 請使用大氣壓露點在-15℃以下,殘余油份為0.1ppm,過濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。
3. 請將切削水的水溫控制為室溫+2℃(波動范圍在±1℃以內),冷卻水的水溫控制為與室溫相同(波動范圍控制在±1℃以內)。
4. 請避免設備受到重力撞擊以及外界任何振動威脅。另外,請不要將設備裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置以及產生油污的裝置附近。
5.請把本設備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場所。
6.請嚴格按照本公司產品使用說明書進行操作。
應用領域:IC、光學光電、通訊、LED封裝、QFN封裝、DFN封裝、BGA封裝
可精密切割材料:
硅片、鈮酸鋰、陶瓷、玻璃、石英、氧化鋁、PCB板
配置與性能 | 加工尺寸 | mm | φ12"∣□275 |
切槽深度 | mm | ≦4mm或定制 |
主軸 | 轉速范圍 | min-₁ | 6000~60000 |
額定輸出功率 | KW | 直流.2.4at60000min-₁ |
X軸 | 有效行程 | mm | 310 |
速度設定范圍 | mm/s | 0.1~1000 |
Y軸 | 有效行程 | mm | 310 |
運動分辨率 | mm | 0.0001 |
單一定位精度 | mm | ≦0.002/5 |
全程定位精度 | mm | 0.005/310 |
Z軸 | 有效行程 | mm | 40 |
最大適用刀片 | mm | φ58 |
行程分辨率 | mm | 0.00005 |
重復定位精度 | mm | 0.001 |
θ軸 | 轉角范圍 | deg | 380 |
基礎規格 | 電源 | kVA | 7.0(三相,AC380V) |
耗電量(參考值) | kw |
|
壓縮空氣 | Mpa L/min | 0.5~0.6 最大消耗量550 |
切削水 | Mpa L/min | 0.2﹣0.3 最大消耗量9.0 |
冷卻水 | Mpa L/min | 0.2﹣0.3 最大消耗量3.0 |
排風量 | m2/min | 800 |
尺寸W*D*H | mm | 1200*1550*1800 |
重量 | kg | 2000 |